旋转式基板测试机构

摘要

本实用新型提供一种旋转式基板测试机构，包含有一旋转桌，能进行圆周运动且经过一进、出料位置、一对位位置及一电测位置、一置板平台供一基板放置、一旋转式吸盘手臂具有一可依预定路径移动并能进行180度旋转的支撑架及分别设置于该支撑架两端的第一吸附组件及第二吸附组件；三组基板夹臂等距设于旋转桌上，使任一基板夹臂位于进、出料位置时，能将基板平台上的基板夹持或将所夹持的基板放置于置板平台上、一CCD对位检测装置用以对位于对位位置的基板进行取像以计算位置偏差值；一基板电测装置用以对位于电测位置的基板进行接触式测试，以判读该基板为正常基板或不正常基板；藉以增进测试基板的效率。

主权项

一种旋转式基板测试机构，其特征在于，包含有：一进行圆周运动，且该圆周运动能经过一进、出料位置、一对位位置及一电测位置的旋转桌；一置板平台，设置于进、出料位置上，供一基板放置；一旋转式吸盘手臂，具有一可依预定路径移动并能进行180度旋转的支撑架及分别设置于该支撑架两相对端的第一吸附组件及一第二吸附组件，使该支撑架旋转180度时该第一、二吸附组件能交互位于置板平台上，以由该第一吸附组件将一基板放置于置板平台上及由该第二吸附组件将置板平台上的基板取出；至少三组基板夹臂，分别依等间距设置于该旋转桌上，使任一基板夹臂位于进、出料位置时，能将基板平台上的基板夹持或将所夹持的基板放置于置板平台上；一CCD对位检测装置，设置于对位位置上，用以对位于对位位置的基板进行取像以计算位置偏差值；一基板电测装置，设置于电测位置上，用以对位于电测位置的基板进行接触式测试，以判读该基板为正常基板或不正常基板。