薄板状工件的搬送装置

摘要

本发明提供一种薄板状工件的搬送装置，其是吸附式的，该搬送装置能够抑制工件强度的降低，能够将工件在健全的状态下搬送到搬送目的地。利用负压吸附作用来吸附晶片(1)且由多孔材构成的吸附衬垫(110)由氟树脂制成。

主权项

一种薄板状工件的搬送装置，该搬送装置装备在加工装置上，用于搬送薄板状工件，上述加工装置具有保持上述工件的保持装置、以及对保持在该保持装置上的工件实施预定加工的加工装置，上述薄板状工件的搬送装置的特征在于，该薄板状工件的搬送装置至少包括：吸附衬垫，其具有吸附面，该吸附面与保持在上述保持装置上的上述工件的露出面接触；负压产生通道，其从负压源一直设置到上述吸附衬垫，该负压源使上述吸附衬垫的上述吸附面产生吸附作用；以及移动装置，其使上述吸附衬垫从上述保持装置移动至预定的搬送目的地，上述吸附衬垫利用含有氟树脂的多孔材形成。