| 发明名称 | 振动型陀螺传感器 | ||
| 摘要 | 一种振动型陀螺传感器，其中，通过简单的构造获得了尺寸降低和高Q值。所述振动型陀螺传感器(1)包括支撑衬底(2)和安装在所述支撑衬底的表面(2-1)上的振动元件(20)，在所述支撑衬底上安装了电路元件，并且形成了具有多个连接盘(4)的线路图案。振动元件(20)包括基座部分(22)和振动器部分(23)，所述基座部分具有其上形成了多个与所述连接盘连接的端子(25)的安装表面(22-2)，所述振动器部分具有与所述衬底相对的表面，第一电极层(27)在其上从所述基座部分(22)的侧缘以悬臂方式与之成一体突出，所述振动器部分还具有与所述基座部分(22)的安装表面平齐的表面，在所述第一电极层上形成压电层(28)，并形成第二电极层(29、30)。通过金属突起(26)将每一端子(25)接合至连接盘(4)，由此将振动元件(20)安装到支撑衬底(2)上。 | ||
| 申请公布号 | CN1969168B | 申请公布日期 | 2010.06.16 |
| 申请号 | CN200680000321.5 | 申请日期 | 2006.02.23 |
| 申请人 | 索尼株式会社 | 发明人 | 渡边成人;本多顺一;佐佐木伸;高桥和夫;稻熊辉往;铃木浩二;相泽学 |
| 分类号 | G01C19/56(2006.01)I;G01P9/04(2006.01)I | 主分类号 | G01C19/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 陶凤波 |
| 主权项 | 一种振动型陀螺传感器，其包括支撑衬底和安装在所述支撑衬底的表面上的振动元件，所述支撑衬底具有线路图案，多个连接盘设置在所述线路图案上，其中，所述振动元件包括：基座部分，具有安装表面，所述安装表面面对所述支撑衬底，并设有连接至所述连接盘的多个端子；以及从所述基座部分的一侧以悬臂的方式与之成一体延伸的振动器部分，且所述振动器部分具有面对支撑衬底的表面，所述面对支撑衬底的表面设有第一电极层，叠置在所述第一电极层上的压电层和叠置在所述压电层上的第二电极层，其中，所述第一电极层和所述第二电极层中的至少之一具有多个电极，通过设置于其间的金属突起将所述端子接合至所述连接盘，由此将所述振动元件安装到所述支撑衬底上。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||