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发明名称 Saw debris reduction in MEMS devices
摘要
申请公布号 EP2147894(A3) 申请公布日期 2010.06.16
申请号 EP20090165255 申请日期 2009.07.10
申请人 HONEYWELL INTERNATIONAL INC. 发明人 RIDLEY, JEFF A.;GLENN, MAX;NOHAVA, JAMES C.;HORNING, ROBERT D.;REKSTAD, JAME
分类号 B81C1/00 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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