图案形成材料体和使用该材料体的图案形成方法

摘要

本发明提供了一种图案形成材料体，该图案形成材料体包括：在目标衬底上形成的热敏材料层；在热敏材料层和目标衬底之间形成的第一光/热转换层；和在热敏材料层与第一光/热转换层相对的表面上形成的第二光/热转换层，该热敏材料层置于第一和第二光/热转换层之间。使用在热敏材料层的两个表面上形成的第一和第二光/热转换层中产生的热，能够在由光致抗蚀剂制成的热敏材料层中形成宽高比更高的精细图案。

主权项

图案形成材料体，包括：光热敏材料层，在目标衬底上形成；第一光/热转换层，在光热敏材料层和目标衬底之间形成；和第二光/热转换层，在光热敏材料层与第一光/热转换层相对的表面上形成，其中，光热敏材料层置于第一和第二光/热转换层之间，第一和第二光/热转换层的材料包括Ge-Sb-Te合金、Sb、Ag-In-Sb-Te合金、Ag-In-Sb-Te-V合金、铌酸锂、硝基甲苯胺。