具有一质量负荷周边的薄膜体声波谐振器

摘要

本发明揭示了一种由中间夹有一压电材料的电极制成的谐振器结构(FBAR)。所述两个导电电极的相交界定了所述声波谐振器的有效面积。将所述有效面积划分为两个同心区域：一周边或框及一中心区域。将一环添加到两个导电电极中的一个以提高电性能(就Q而言)。

主权项

一种薄膜体声波谐振器，其包含：一第一电极；一定位于所述第一电极附近及上方的第二电极；所述第一电极与所述第二电极的重叠界定一有效面积；一插入所述第一电极与所述第二电极之间的压电薄片；一定位于所述第一电极和第二电极中的一个的一表面上的环；其中所述环内的区域具有一第一声阻抗，所述环具有一第二声阻抗，且所述环外的区域具有一第三声阻抗；和所述第二声阻抗大于所述第一和所述第三声阻抗。