| 发明名称 | 图形修正装置及其涂布单元 | ||
| 摘要 | 一种图形修正装置(1)，其涂布单元(20)具有：底部开设有第1孔(21a)、注入修正液(22)的容器(21)；具有与第1孔(21a)大致相同直径的涂布针(24)；使容器(21)及涂布针(24)上下移动并使容器(21)及涂布针(24)相对上下移动从而使涂布针前端部(24a)从第1孔(21a)中突出将修正液(22)附着在前端部(24a)上的气缸(34)。因此，本发明的图形修正装置与必须在容器和缺陷部之间使涂布针往复移动的以往技术相比，可用简单的结构迅速修正缺陷部。 | ||
| 申请公布号 | CN101047090B | 申请公布日期 | 2010.06.16 |
| 申请号 | CN200710091711.4 | 申请日期 | 2007.03.29 |
| 申请人 | NTN株式会社 | 发明人 | 松岛昌良;山中昭浩;小池孝誌 |
| 分类号 | H01J9/50(2006.01)I;G02F1/133(2006.01)I;G02F1/1335(2006.01)I;G03F1/00(2006.01)I | 主分类号 | H01J9/50(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 方晓虹 |
| 主权项 | 一种涂布单元，是对形成在基板上的微小图形的缺陷部进行修正的图形修正装置的涂布单元，其特征在于，具有：在底部开设有第1孔、注入修正液的容器；具有与所述第1孔相同的直径、将所述修正液涂布在所述缺陷部上用的涂布针；将所述容器及所述涂布针支承成可上下移动的第1直线移动导向构件；将所述容器及所述涂布针支承成可相对上下移动的第2直线移动导向构件；驱动部，该驱动部使所述容器及所述涂布针上下移动并使所述容器及所述涂布针相对上下移动，使所述涂布针前端部从所述第1孔突出而将所述修正液附着在所述前端部上。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||