| 发明名称 | 向微细空间填充金属的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种向微细空间填充金属的方法，该方法包含下述工序：在对设置于支撑体上的对象物及在对象物内部存在的微细空间内的熔融金属施加用于加压的外力的状态下，使所述熔融金属冷却而固化。所述外力由选自压力机压、喷射压、碾压或气压中的至少一种方式而给予。 | ||
| 申请公布号 | CN101740425A | 申请公布日期 | 2010.06.16 |
| 申请号 | CN200910141802.3 | 申请日期 | 2009.05.22 |
| 申请人 | 纳普拉有限公司 | 发明人 | 关根重信;关根由莉奈;木村龙司 |
| 分类号 | H01L21/60(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/60(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 周欣;陈建全 |
| 主权项 | 一种向存在于对象物中的微细空间填充熔融金属并使该熔融金属固化的方法，该方法包含下述工序：在对设置于支撑体上的所述对象物及所述微细空间内的所述熔融金属施加用于加压的外力的状态下，使所述熔融金属冷却而固化。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||