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发明名称
Method for structuring a layer onto a substrate
摘要
申请公布号
EP1959298(B1)
申请公布日期
2010.06.16
申请号
EP20080002496
申请日期
2008.02.12
申请人
KARLSRUHER INSTITUT FUER TECHNOLOGIE
发明人
SCHIMMEL, THOMAS;PANCERA-MONTERO, SABRINA;GLIEMANN, HARTMUT
分类号
G03F7/00;B01L3/00
主分类号
G03F7/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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