发明名称 SINGLE DIE MEMS ACOUSTIC TRANSDUCER AND MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 EP2005789(B1) 申请公布日期 2010.06.16
申请号 EP20070711298 申请日期 2007.03.29
申请人 SONION MEMS A/S 发明人 ROMBACH, PIRMIN;ARNOLDUS, MORTEN BERG;GINNERUP, MORTEN
分类号 H04R19/04 主分类号 H04R19/04
代理机构 代理人
主权项
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