固态成像器,其制造方法和照相机

摘要

固态成像器包括光电转换区，用于把在其受光面接收的光束光电转换成信号电荷，和把光束引导到受光面的波导路径。波导路径包括多个波导部件，每个波导部件把入射在其光入射面的光束引导到其光出射面。所述多个波导部件层叠在受光面上。多个波导部件之中，最接近受光面的第一波导部件面对受光面，并且面积小于多个波导部件中离受光面最远的第二波导部件的光入射面的面积。

主权项

一种固态成像器，包括：光电转换区，用于把在光电转换区的受光面接收的光束光电转换成信号电荷；和把光束引导到受光面的波导路径，所述波导路径包括多个波导部件，每个波导部件把入射在光入射面的光束引导到光出射面，所述多个波导部件层叠在受光面上，多个波导部件之中最接近受光面的第一波导部件的光出射面面对受光面，并且面积小于多个波导部件中离受光面最远的第二波导部件的光入射面。