一种高纯度钛靶材的制备工艺

摘要

本发明涉及一种钛含量超过99.95％的高纯度钛靶材的制备工艺领域。采用的技术方案是：选用符合国家标准的海绵钛，采用电子轰击炉进行提纯，或采用碘化法制成碘化钛，再通过真空自耗熔炼制成钛锭，其中钛锭中Fe＜0.05％；O＜0.04％；N＜0.015％，最后通过机加工将钛锭切割成钛棒靶材或钛材靶材等各种钛靶材。本发明解决了传统的钛靶材制备工艺存在的纯度低、成品率低、生产成本高等技术问题，制备的钛靶材纯度高，可广泛应用于光数据存储工业(光盘工业)、光通讯工业等高精尖行业，改变了我国高纯度钛靶材长期依赖进口的不利局面，满足了目前我国对高纯度钛靶材的生产使用要求。

主权项

一种高纯度钛靶材的制备工艺，其特征在于，高纯度钛靶材的具体制造步骤：a)选用符合国家标准GB/T2524-1981，产品牌号为MHTi-O的海绵钛；b)钛锭制作，采用电子轰击炉在真空状态下对海绵钛进行电子束熔炼提纯制成钛锭，其中Fe＜0.05％、O＜0.04％、N＜0.015％；c)切割制成所需规格的钛靶材。