大运动范围宏微双重驱动定位平台

摘要

大运动范围宏微双重驱动定位平台，本发明下平台基座配有两平行导轨，上平台基座通过滚动导轨副安装在下平台的两平行导轨上，上平台基座通过线切割加工成柔性铰链支撑的微动工作台，直线电机定子固定于下平台基座上，直线电机动子的连接架与上平台基座固定，在下平台基座的一侧安装有光栅尺，光栅尺通过固定架固定在下平台基座上，与光栅尺相配合的光栅尺读数头通过连接架与微动工作台固定。本发明的粗动台完成大范围高速运动，定位精度在微米级；微动台对粗动工作台进行定位误差及转角误差进行补偿，使定位精度达到纳米精度。

主权项

大运动范围宏微双重驱动定位平台，包括下平台基座(1)以及设置在下平台基座(1)上的上平台基座(5)，其特征在于：上平台基座(5)上经线切割加工有微动工作平台(7)，下平台基座(1)的两侧设置有平行导轨(3)，上平台基座(5)通过滚动导轨副(4)安装在平行导轨(3)上，直线电机定子(2)固定于下平台基座(1)上，直线电机动子(14)通过直线电机动子连接架(15)与上平台基座(5)相连，在下平台基座(1)的一侧安装有光栅尺(10)，与光栅尺(10)相配合的光栅尺读数头(8)通过连接架(9)与微动工作平台(7)相连，微动工作平台(7)的四周开有框形直通槽，微动工作平台(7)上还开设有安装Y向压电驱动器(6)、X向压电驱动器(12)的Y向压电驱动器定位槽(17)和X向压电驱动器定位槽(23)，且在微动工作平台(7)还开设有安装承载平台的固定螺孔(25)。