| 发明名称 | 通过化学喷雾热解在基材上制备氧化锌纳米棒的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种在350℃-600℃的适宜沉积温度下通过化学喷雾热解，在基材上制备纳米结构氧化锌层的方法。制备包含作为前体的氯化锌或醋酸锌的水溶液或含水醇溶液，并将其喷雾至预热的基材上，以使得前体反应，从而在基材上形成氧化锌层。还可向溶液中加入硫脲或脲。可使用玻璃、硅或覆盖有金属氧化物的玻璃作为基材。 | ||
| 申请公布号 | CN101203948B | 申请公布日期 | 2010.06.16 |
| 申请号 | CN200680017046.8 | 申请日期 | 2006.04.13 |
| 申请人 | 塔林科技大学 | 发明人 | 马勒·克朗克斯;伊洛纳·奥加;泰特加纳·德多瓦 |
| 分类号 | H01L21/368(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/368(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 宋莉 |
| 主权项 | 一种在具有第一表面和第二表面的基材上制备纳米结构氧化锌(ZnO)层的方法，该方法包括下列步骤：加热所述基材使得所述基材的第一表面处于350℃-600℃；采用喷雾技术使包含前体和溶剂的溶液雾化成微小离散的液滴，其中所述前体选自氯化锌(ZnCl2)和醋酸锌(Zn(CH3COO)2)；和在所述基材的第一表面上采用1毫升/分钟-5毫升/分钟的溶液供给速率沉积所述雾化溶液，其中当所述溶剂到达所述基材时，所述溶剂蒸发，且所述前体反应形成纳米结构氧化锌层。 | ||
| 地址 | 爱沙尼亚塔林 | ||