复合薄膜制备系统

摘要

本发明提供了一种薄膜制备系统，包括：用于取出和放入样品的样品室，包括样品存储台；磁控溅射装置，包括磁控室、磁控室样品台和用于在真空中在磁控室样品台和样品室的样品存储台之间传送样品的磁控室样品传递机构；以及激光分子束外延装置，包括激光室、激光室样品台、以及用于在真空中在激光室样品台和样品室的样品存储台之间传送样品的激光室样品传递机构；所述样品室通过密闭的第一管路连通到激光分子束外延室，且所述样品室通过密闭的第二管路连通到磁控室；本发明将磁控溅射和激光分子束蒸发结合在同一装置中，既能原位集成生长不同材料的异质结和多层膜，实现完整和无污染的界面；同时也能为薄膜器件研制提供关键的器件基体。

主权项

一种复合薄膜制备系统，包括：样品室，包括样品室存储台，用于存储和取出样品及中转样品；磁控溅射装置，包括磁控溅射室、磁控溅射室样品台和用于在真空中在磁控溅射室样品台和样品室存储台之间传送样品的传递机构；激光分子束外延装置，包括激光分子束外延室、激光分子束外延室样品台、和用于在真空中在激光分子束外延室样品台和样品室存储台之间传送样品的传递机构；扫描隧道显微镜工作室，包括扫描隧道显微镜样品台和用于在真空中在扫描隧道显微镜样品台和样品室存储台之间传送样品的传递机构，该扫描隧道显微镜工作室用于原位观察样品形貌；以及预抽室，具有用于在真空中在预抽室和样品室存储台之间传送样品的预抽室样品传递机构；其中，所述样品室通过带有闸板阀的密闭的第一管路连通至激光分子束外延室，通过带有闸板阀的密闭的第二管路连通至磁控溅射室，通过带有闸板阀的密闭的第三管路连通至扫描隧道显微镜工作室，通过带有闸板阀的密闭的第四管路连通至预抽室。