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发明名称 METHOD OF PRODUCING A STRUCTURE BY LAYER TRANSFER
摘要
申请公布号 EP2195836(A1) 申请公布日期 2010.06.16
申请号 EP20080803985 申请日期 2008.09.11
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 SOULIER BOUCHET, BRIGITTE;KERDILES, SEBASTIEN;SCHWARZENBACH, WALTER
分类号 H01L21/762;H01L21/306 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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