| 发明名称 |
Manufacturing methods of semiconductor substrate, thin film transistor and semiconductor device |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1993126(A3) |
申请公布日期 |
2010.06.16 |
| 申请号 |
EP20080005222 |
申请日期 |
2008.03.19 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. |
发明人 |
OHNUMA, HIDETO |
| 分类号 |
H01L21/762;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/762 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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