减震装置

摘要

本实用新型公开了一种减震装置，减震装置包括第一法兰、第二法兰及波纹管，第二法兰的上表面与真空腔体密封连接，第一法兰的下表面与真空泵密封连接，波纹管具有第一开口端及第二开口端，波纹管的第一开口端与第一法兰的上表面密封连接，波纹管的第二开口端与第二法兰的下表面密封连接，第一法兰与第二法兰均为圆环结构，圆环结构具有向外突出的均匀分布的凸出部，凸出部上开设有安装孔，其中，还包括气弹簧及螺母，气弹簧两端分别具有连接部，连接部上开设有外螺纹，螺母具有与外螺纹相啮合的内螺纹，气弹簧两端的连接部对应的穿过第一法兰与第二法兰的安装孔并与螺母啮合。本实用新型减震装置结构紧凑、减震效果好、成本低、使用寿命长。

主权项

一种减震装置，安装于真空泵与真空腔体之间，所述减震装置包括第一法兰、第二法兰及波纹管，所述第一法兰及所述第二法兰均具有上表面与下表面，所述第二法兰的上表面与所述真空腔体密封连接，所述第一法兰的下表面与所述真空泵密封连接，所述波纹管具有第一开口端及第二开口端，所述波纹管的第一开口端与所述第一法兰的上表面密封连接，所述波纹管的第二开口端与所述第二法兰的下表面密封连接，所述第一法兰与所述第二法兰均为圆环结构，所述圆环结构具有向外突出的均匀分布的凸出部，所述凸出部上开设有安装孔，其特征在于：还包括气弹簧及螺母，所述气弹簧两端分别具有连接部，所述连接部上开设有外螺纹，所述螺母具有与所述外螺纹相啮合的内螺纹，所述气弹簧两端的连接部对应的穿过所述第一法兰与所述第二法兰的安装孔并与所述螺母啮合。