湿法硅片自动插片机的送片槽板

摘要

湿法硅片自动插片机的送片槽板，包括底板，分别安装在底板上的左侧板以及右侧板，底板上设置导流条，每个导流条分别开有一条凹槽，凹槽头部与导流条之间设置过渡面，凹槽尾部与导流条尾部平齐，凹槽按长度的不同至少可以划分为三组，每组的凹槽数量至少为三组，凹槽与导流条之间的过渡面为圆弧。所述凹槽及圆弧过渡面能使水流运动产生浮点，避免硅片吸附在送片槽板上，使得硅片能快速平稳的滑入硅片盒内。

主权项

湿法硅片自动插片机的送片槽板，包括底板，分别安装在所述底板上的左侧板以及右侧板，底板上均匀分布有导流条，其特征在于所述导流条分别开有凹槽，所述凹槽头部与导流条之间设置过渡面，所述凹槽尾部与所述导流条尾部平齐。