| 发明名称 | 对针孔的占有比例进行调节的溅射靶及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明的目的在于，提供一种即使导入较高的输入电力也能减少溅射时产生的电弧，并且能有效地防止溅射靶自身破裂的溅射靶。本发明的溅射靶是通过粉末冶金方法制造的板状溅射靶，其特征在于，存在于该溅射靶内的针孔所占有的比例，在该溅射靶内的下表面一侧附近比上表面一侧附近更高。 | ||
| 申请公布号 | CN101743339A | 申请公布日期 | 2010.06.16 |
| 申请号 | CN200980000568.0 | 申请日期 | 2009.02.20 |
| 申请人 | 三井金属矿业株式会社 | 发明人 | 松前和男 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C04B35/457(2006.01)I;C04B35/64(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人 | 黄丽娟;朱梅 |
| 主权项 | 一种溅射靶，是通过粉末冶金方法制造的板状的溅射靶，其特征在于，存在于该溅射靶内的针孔所占有的比例，在该溅射靶内的下表面一侧附近比上表面一侧附近更高。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||