发明名称 |
LDMOS晶体管及其制造方法 |
摘要 |
本发明披露了一种LDMOS晶体管及其制造方法。横向双扩散金属氧化物半导体(LDMOS)晶体管包括:第一介电层,形成在衬底的上表面的正面区域上;多个第二介电层,多层层叠在第一介电层的上表面的正面区域上;多个接触插塞,在有源区中以预定的距离彼此隔开,并穿过第一和第二介电层;以及桥接金属线,形成在第二介电层中,在水平方向上内部连接隔开的接触插塞。形成桥接金属线以与接触插塞交叉的形式来内部连接接触插塞。结果,在与传统的晶体管相同的尺寸中可以流过更多的电流。 |
申请公布号 |
CN101740626A |
申请公布日期 |
2010.06.16 |
申请号 |
CN200910224012.1 |
申请日期 |
2009.11.17 |
申请人 |
东部高科股份有限公司 |
发明人 |
赵哲晧 |
分类号 |
H01L29/78(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I;H01L23/528(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/78(2006.01)I |
代理机构 |
北京博浩百睿知识产权代理有限责任公司 11134 |
代理人 |
宋子良;李占平 |
主权项 |
一种横向双扩散金属氧化物半导体(LDMOS)晶体管,包括:第一介电层,形成在衬底的上表面的正面区域上;多个第二介电层,多层层叠在所述第一介电层的上表面的正面区域上;多个接触插塞,在有源区中以预定的距离彼此隔开,并穿过所述第一和所述第二介电层;以及桥接金属线,形成在所述第二介电层中,在水平方向上内部连接隔开的所述接触插塞。 |
地址 |
韩国首尔 |