发明名称 | 磁控溅射靶 | ||
摘要 | 本实用新型提供的一种生产太阳能电池的磁控溅射靶,包括铝制的矩形腔体(1)、密封圈(4)以及覆盖并固定在矩形腔体(1)上端的铜板(3),内装溅射强磁铁(6),腔体底部连接金属水管路(5、7),溅射靶的工作电源输入线路是并接在金属水管路上。其特征是在铜板(3)的下表面覆设有含钛的金属保护膜(2),或是与钛的标准电极电势相接近的金属保护膜。由于钛在碱性溶液中的标准电极电势为-1.63V,铝的标准电势为-1.28V,钛与铝的标准电极电势非常接近,钛膜层与铝制腔体将是纯金属接触,它们之间很难产生化学腐蚀,钛膜层起到隔离层的作用,保护了铝制腔体,提高铝制腔体的耐腐蚀性,因此也将极大的提高溅射靶的寿命,降低成本。 | ||
申请公布号 | CN201506829U | 申请公布日期 | 2010.06.16 |
申请号 | CN200920186949.X | 申请日期 | 2009.08.13 |
申请人 | 普乐新能源(蚌埠)有限公司 | 发明人 | 马磊;李子云;张浙军 |
分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
代理机构 | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人 | 杨晋弘 |
主权项 | 一种磁控溅射靶,包括铝制的矩形腔体(1)、密封圈(4)以及覆盖并固定在矩形腔体(1)上端的铜板(3),其特征是在与矩形腔体(1)相接触的铜板(3)的表面覆设有含钛的金属保护膜(2)。 | ||
地址 | 233000 安徽省蚌埠市新城区汤和路268号 |