空间滤波全息干涉仪

摘要

本实用新型属于采用光学测量方法为其特征的仪器领域，涉及一种空间滤波全息干涉仪。它包括相干光源及沿光源的光线方向依次设置的半波片、方解石片、第二半波片、相位物体、相位补偿器、狭缝板、全息干板、透镜、空间滤波器、第二透镜、面阵光电传感器、显示器。第二半波片平行于相位物体和相位补偿器放置；光束经方解石片后射出两束平行光，分别通过缝S1和缝S2形成干涉条纹由全息干板记录。调整可移动缝到S3，使光束经缝S3和缝S2形成的干涉条纹记录在同一全息干板上，通过缝S2的衍射光作为再现光照射全息干板，重构出缝S1和缝S3的衍射波前并与其衍射波构成三波面衍射波前。本干涉仪适用于测量光路中的微小光程变化，具有结构设计合理、稳定性好、精度高等特点。

主权项

空间滤波全息干涉仪，其特征在于：系统由相干光源(1)、半波片(2)、方解石片(3)、半波片(4)、相位物体(5)、相位补偿器(6)、狭缝板(7)、全息干板(8)、透镜(9)、空间滤波器(10)、透镜(11)、面阵光电传感器(12)、显示器(13)所构成；半波片(4)平行于相位物体(5)和相位补偿器(6)放置；狭缝板(7)带有可调狭缝和固定狭缝；空间滤波器(10)为孔径可调滤波器。