等离子加工系统的现场安装和可维修性的RF计量特性化

摘要

一种现场替代RF计量系统部件的系统。该系统包括传感器/电缆组合部件与分析单元。在将RF计量系统放置在现场中之前，确定该RF计量系统的参数。根据这些参数，通过针对所替代单元重新校准该系统，可以在现场中替代任意一个部件，电缆/传感器组合部件或分析模块。在将RF计量系统放置于现场中之前，利用所确定的参数来执行这样的重新校准。

主权项

一种RF计量系统，用于监控RF发生器到负载的输出，包括：传感器部件，该传感器部件检测施加给负载的电压和电流中的至少一个；分析模块部件，该分析模块部件接收来自所述传感器部件的电压和电流传感器信号中的至少一个，其中在所述传感器部件和分析模块部件其中一个部件保持为安装状态的同时，可以更换所述传感器部件和分析模块部件中另一个部件，并且在更换所述另一个部件之后，重新校准所述RF计量系统；以及输入至所述分析模块部件的定标矩阵，以便在安装所述被更换部件之后，校准所述RF计量系统。