发明名称 VERFAHREN ZUR MANIPULATION VON HALBLEITERSCHICHTEN ZUM DÜNNMACHEN DERSELBEN
摘要
申请公布号 AT468605(T) 申请公布日期 2010.06.15
申请号 AT20030727614T 申请日期 2003.03.26
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 ASPAR, BERNARD;ZUSSY, MARC;CLERC, JEAN-FREDERIC
分类号 H01L21/58;H01L27/12;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/68;H01L21/762 主分类号 H01L21/58
代理机构 代理人
主权项
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