MATERIAL AND METHOD FOR PURIFICATION OF GAS CONTAINING NITROGEN FLUORIDES,申请号KR20030041018-传众专利搜索

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发明名称	MATERIAL AND METHOD FOR PURIFICATION OF GAS CONTAINING NITROGEN FLUORIDES
摘要
申请公布号	KR100963346(B1)	申请公布日期	2010.06.14
申请号	KR20030041018	申请日期	2003.06.24
申请人		发明人
分类号	B01D53/68;B01J20/02;B01D53/34;B01J20/04;B01J20/06;B01J23/14;H01L21/302	主分类号	B01D53/68
代理机构		代理人
主权项
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