处理方法及处理装置

摘要

本发明之处理装置具有：连续处理被处理体之处理部；针对处理部处理过之被处理体检查其处理状态之检査部；依据检査部之检査结果，判定处理状态之良/不良的处理状态判定部；由处理状态判定部判定成不良时，判定不良之判定是否连续之连续性判定部；以及由连续性判定部判定成不良之判定为连续时，以停止处理部对被处理体之连续处理之方式控制处理的处理控制部。

主权项

一种处理方法，其特征在于具备：处理步骤，其系连续处理被处理体；检査步骤，其系针对前述处理步骤处理过之被处理体检查其处理后的状态；处理状态判定步骤，其系依据前述检査步骤之检査结果，判定处理状态之良/不良；连续性判定步骤，其系于前述处理状态判定步骤判定成不良时，判定不良之判定是否连续；再检査步骤，其系于前述连续性判定步骤中，判定不良之判定为连续时，再检査于前述处理状态判定步骤中判定为良且已处理之被处理体；检査状态判定步骤，其系依据前述再检査步骤之检査结果，判定前述检査步骤之检査状态；及处理控制步骤，其系于前述连续性判定步骤判定成不良之判定为连续时，以停止前述处理步骤之对被处理体之连续处理之方式控制处理。