固定于无尘室顶板之进气口装置

摘要

本发明提供一种具有外壳之进气口装置，外壳之一个顶面和包括侧壁之外壳壁系在吸气侧设有通风风扇，将外壳的排放口功能上与一空气过滤器装置相连接，该侧壁系由至少一个带状型材元件所组成，将数个此类的型材元件能以气密方式，经由在其纵边上之连接手段连接成为模组化系统。

主权项

一种固定于无尘室顶板之进气口装置，包括一外壳，该外壳之一个顶侧及一具有侧壁之外壳壁系在吸气侧上设有通风风扇，该外壳的空气排放口能与一空气过滤器装置连接，其中该侧壁系由至少一个带状型材元件所组成，数个此类型材元件能以气密模组化方式，经由在其纵边上之耦接手段彼此连接在一起。