具有蓝紫色雷射光敏性光阻剂层之图像形成材料及形成该光阻图像的方法

摘要

本发明系提供具有对蓝紫色领域之雷射光具有高灵敏度，且既使增加膜厚也不会降低灵敏度之蓝绿色雷射光敏性光阻剂层的图像形成材料，及形成该光阻图像之方法。该具有蓝紫色雷射光敏性光阻剂层之图像形成材料为，被加工基板上具有蓝紫色雷射光敏性光阻剂层之图像形成材料中，光敏性光阻剂层之膜厚为10 μm以上，且波长405 nm之吸光度对膜厚每1 μm为0.3以下之物，又，形成该光阻图像之方法为，利用波长320之450nm之雷射光扫描图像形成材料之光敏性光阻剂层，曝光后进行显像处理。

主权项

一种具有蓝紫色雷射光敏性光阻剂层之图像形成材料，其特征为在被加工基板上具有蓝紫色雷射光敏性光阻剂层之图像形成材料，该光敏性光阻剂层之膜厚为10 μm以上，且对每1 μm膜厚之波长405nm的吸光度为0.3以下，光敏性光阻剂层系由含下列(N1-1)、(N1-2)及(N1-3)成分之光聚合性负型光敏性组成物(N1); (N1-1)乙烯性不饱和化合物(N1-2)敏化剂(N1-3)光聚合引发剂含下列(N2-1)、(N2-2)及(N2-3)成分之化学加强型负型光敏性组成物(N2); (N2-1)硷可溶性树脂(N2-2)酸性条件下对硷可溶性树脂具作用性之交联剂(N2-3)光酸发生剂及含下列(P1-1)及(P1-2)成分之化学加强型正型光敏性组成物(P1)(P1-1)含酸分解性基树脂(P1-2)光酸发生剂之任一者所形成。