奈米级放电加工装置

摘要

本创作系提供一种奈米级放电加工装置，其包含座体；容置部设于座体以容置介电液及容置导电工件沉浸于介电液；位移驱动部；原子力扫瞄部设于位移驱动部，原子力扫瞄部具有光束产生单元、动作驱动单元、导电探针、反射镜及光检测单元，导电探针设于动作驱动单元，并用以加工导电工件，光束产生单元产生光束入射至导电探针，再藉由反射镜反射至光检测单元；控制部电连接光检测单元及位移驱动部；供电部负极电连接导电探针，正极电连接导电工件。藉此，本创作之奈米级放电加工装置可具有奈米等级之加工精密度，以适用于奈米级物件的加工。

主权项

一种奈米级放电加工装置，其包含：一座体；一容置部，其设于该座体，该容置部容置一介电液，并用以容置一导电工件沉浸于该介电液；一位移驱动部；一原子力扫瞄部，其设于该位移驱动部，该原子力扫瞄部具有一光束产生单元、一动作驱动单元、一导电探针、一反射镜及一光检测单元，该导电探针设于该动作驱动单元，并用以加工该导电工件，该光束产生单元产生光束入射至该导电探针，再藉由该反射镜反射至该光检测单元；一控制部，其电连接该光检测单元及该位移驱动部；以及一供电部，其负极电连接该导电探针，正极电连接该导电工件。