发明名称 半导体结构
摘要 本创作提出了一种半导体结构包含:基板;位于基板上之金属层、通道层与绝缘层;以及覆盖于金属层、通道层与绝缘层上方不同位置,且互相部份交叠之遮蔽层。当该半导体结构为包含电子电路区与微机电区之微机电系统时,该遮蔽层遮蔽该电子电路区。
申请公布号 TWM382581 申请公布日期 2010.06.11
申请号 TW098222083 申请日期 2009.11.25
申请人 原相科技股份有限公司 发明人 吕志宏;徐新惠;李昇达;王传蔚
分类号 H01L25/00 主分类号 H01L25/00
代理机构 代理人 任秀妍
主权项 一种半导体结构,包含:基板;位于基板上之金属层、通道层与绝缘层;以及覆盖于金属层、通道层与绝缘层上方,且互相部份交叠之遮蔽层。
地址 新竹市新竹科学园区创新一路5号5楼