发明名称 PROCESS FOR CLEANING, DRYING AND HYDROPHILIZING A SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 KR100962624(B1) 申请公布日期 2010.06.11
申请号 KR20080044075 申请日期 2008.05.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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