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发明名称 SYSTEM AND METHOD FOR ELECTRIC BEAM CONTROL USING FOCAL LENGTH
摘要
申请公布号 KR100962243(B1) 申请公布日期 2010.06.11
申请号 KR20080053636 申请日期 2008.06.09
申请人 发明人
分类号 H01J37/28;H01J37/21;H01J37/302 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
主权项
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