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经营范围
发明名称
showerhead and substrate processing unit including the showerhead, plasma supplying method using the showerhead
摘要
申请公布号
KR100963297(B1)
申请公布日期
2010.06.11
申请号
KR20070089586
申请日期
2007.09.04
申请人
发明人
分类号
H01L21/205;H01L21/3065
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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