SUBSTRATE SUPPORTING UNIT AND MANUFACTURING METHOD OF THE SUBSTRATE SUPPORTING UNIT,申请号KR20090103021-传众专利搜索

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发明名称	SUBSTRATE SUPPORTING UNIT AND MANUFACTURING METHOD OF THE SUBSTRATE SUPPORTING UNIT
摘要
申请公布号	KR100963300(B1)	申请公布日期	2010.06.11
申请号	KR20090103021	申请日期	2009.10.28
申请人		发明人
分类号	H01L21/02;H01L21/683	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
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