METHOD FOR CALIBRATING THE PULSE ENERGY OF A LASER DEVICE USING A COHERENCE-OPTICAL INTERFEROMETRIC MEASURING APPARATUS

摘要

Bei einem Verfahren zur Kalibrierung der Pulsenergie einer gepulste Arbeitslaserstrahlung bereitstellenden Lasereinrichtung (110) werden mittels der Arbeitslaserstrahlung mehrere Testablationen, insbesondere Vielfachpuls-Testablationen, an einem oder mehreren Testobjekten (180) mit jeweils unterschiedlicher Pulsenergie vorgenommen. Es wird die Ablationstiefe jeder der Testablationen gemessen und anschließend auf Grundlage der gemessenen Ablationstiefen und einer vorgegebenen Soll-Ablationstiefe eine zugehörige Soll-Pulsenergie ermittelt und an der Lasereinrichtung eingestellt. Erfindungsgemäß werden die Ablationstiefen mittels einer kohärenzoptischen interf erometrischen Messvorrichtung (130) gemessen. Die Erfindung betrifft ferner eine Lasereinrichtung insbesondere zur Durchführung des obigen Verfahrens.