发明名称 System und Verfahren zur Fehlerdetektion auf Photoemissionsbasis
摘要 Ein IREM-Bild von einem IC wird erhalten. Die Emissionsintensität von jeder Emissionsstelle wird gemessen/berechnet und mit einer Referenzintensität verglichen. Die berechnete Intensität kann gegen die Referenzintensitäten aufgetragen werden. Im Allgemeinen wird die Mehrzahl der aufgetragenen Intensitäten in einem vorgegebenen Bereich in einer geraden Linie liegen. Bei Bauteilen, die eine abnormale Emission zeigen, würde die Kurvendarstellung eine leicht feststellbare Abweichung von der Linie als Ergebnis haben. Die berechnete Intensität wird verwendet, um eine Bestimmung von logisch "1" oder "0" für jedes Bauteil zu machen, die automatisch zusammen mit dem entsprechenden Test-Vektor gespeichert wird. Die berechneten, logischen Zustände werden dann tabellarisch erfasst und gegen eine Tabelle von logischen Referenzzuständen verglichen.
申请公布号 DE102009044737(A1) 申请公布日期 2010.06.10
申请号 DE200910044737 申请日期 2009.12.02
申请人 DCG SYSTEMS INC. 发明人 KHURANA, NEERAJ
分类号 G01N21/62 主分类号 G01N21/62
代理机构 代理人
主权项
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