摘要 |
Ein IREM-Bild von einem IC wird erhalten. Die Emissionsintensität von jeder Emissionsstelle wird gemessen/berechnet und mit einer Referenzintensität verglichen. Die berechnete Intensität kann gegen die Referenzintensitäten aufgetragen werden. Im Allgemeinen wird die Mehrzahl der aufgetragenen Intensitäten in einem vorgegebenen Bereich in einer geraden Linie liegen. Bei Bauteilen, die eine abnormale Emission zeigen, würde die Kurvendarstellung eine leicht feststellbare Abweichung von der Linie als Ergebnis haben. Die berechnete Intensität wird verwendet, um eine Bestimmung von logisch "1" oder "0" für jedes Bauteil zu machen, die automatisch zusammen mit dem entsprechenden Test-Vektor gespeichert wird. Die berechneten, logischen Zustände werden dann tabellarisch erfasst und gegen eine Tabelle von logischen Referenzzuständen verglichen.
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