| 摘要 |
1. Интегрированный температурный датчик, содержащий микромеханический активный элемент (20), содержащий термически активируемый полимерный материал, имеющий деформацию, зависящую от температуры, и детектор (30, 40), выполненный с возможностью выводить сигнал в соответствии с деформацией активного элемента. ! 2. Датчик по п.1, в котором активный элемент содержит эластомерный материал. ! 3. Датчик по п.1, в котором активный элемент содержит LC-материал в эластомерной сетке. ! 4. Датчик по п.1, в котором детектор (30, 40) содержит одно из: оптического, магнитного или емкостного детектора. ! 5. Датчик по п.1, в котором детектор (30, 40) выполнен с возможностью обнаруживать множество уровней деформации. ! 6. Датчик по п.1, в котором активный элемент выполнен в виде слоя, и деформацией является закручивание слоя. ! 7. Датчик по п.6, в котором слой является монолитным слоем. ! 8. Датчик по любому предшествующему пункту, в котором активный элемент имеет длину меньше 100 мкм. ! 9. Биочип, имеющий средство (50, 60) анализа пробы и имеющий интегрированный температурный датчик по любому предшествующему пункту. ! 10. Биочип по п.9, имеющий интегрированную схему для обработки сигнала. ! 11. Биочип по п.10, в котором интегрированная схема содержит интегрированный контроллер для замеров процесса анализа, причем сигнал, выводимый посредством датчика, подается на контроллер. ! 12. Способ изготовления интегрированного температурного датчика, содержащий этапы, на которых формируют микромеханический активный элемент (20), содержащий термически активируемый полимерный материал, имеющий деформацию, зависящую от температуры, и формируют детектор (30, 40), выполненный с возмо |
