发明名称 Anordnung zweier Substrate mit einer SLID-Bondverbindung und Verfahren zur Herstellung einer solchen Anordnung
摘要 <p>Es wird eine Anordnung (1) mit einem ersten (5) und einem zweiten Substrat (10) beschrieben, wobei die beiden Substrate (5, 10) mittels einer SLID (Solid-Liquid-Interdiffusion)-Bondverbindung (15) miteinander verbunden sind. Die SLID-Bondverbindung (15) weist ein erstes metallisches Material und ein zweites metallisches Material auf, wobei die SLID-Bondverbindung (15) die intermetallische Al/Sn-Phase (15c) umfasst. Weiter wird ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Anordnung (1) vorgestellt.</p>
申请公布号 DE102008054415(A1) 申请公布日期 2010.06.10
申请号 DE20081054415 申请日期 2008.12.09
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 TRAUTMANN, ACHIM;FEYH, ANDO
分类号 H01L21/50 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
主权项
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