| 发明名称 |
HALOGENIERTE ANTIREFLEXBESCHICHTUNGEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60236210(D1) |
申请公布日期 |
2010.06.10 |
| 申请号 |
DE20026036210 |
申请日期 |
2002.02.11 |
| 申请人 |
BREWER SCIENCE INC. |
发明人 |
ENOMOTO, TOMOYUKI;MIZUSAWA;ARASE;PULIGADDA, RAMA |
| 分类号 |
G03F7/004;G03F7/11;C08F18/00;C08F18/16;C08F220/12;C08F220/22;C08F220/28;C09D133/16;G03F7/038;G03F7/09;G03F7/26;G03F7/40;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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