石英管壁厚光电检测系统

摘要

本发明公开了一种石英管壁厚光电检测系统，包括用于产生线形光束的激光发射系统、用于接收并检测经过待测石英管的管壁反射的光束的CCD测量系统和用于对CCD检测到的光束进行计算并得出石英管的管壁厚度的计算处理系统。本发明通过激光扫描技术和CCD检测技术的结合，实现了对石英管壁厚的高速、非接触的实时测量，满足了石英管生产过程中对壁厚测量的要求。

主权项

一种石英管壁厚光电检测系统，其特征在于包括：用于产生线形光束的激光发射系统、用于接收并检测经过待测石英管的管壁反射的光束的CCD测量系统和用于对CCD检测到的光束进行计算并得出石英管的管壁厚度的计算处理系统；所述激光发射系统包括激光器和准直、扩束和整形光学系统；所述CCD测量系统包括线阵CCD和扩束光学系统；所述激光器、所述准直、扩束和整形光学系统、所述线阵CCD和所述扩束光学系统设置在待测石英管的同侧，所述激光器产生激光后经过准直、扩束和整形光学系统形成狭长的线形光束，所述线形光束以一定角度α入射到石英管的外壁上，该线性光束形成第一反射光束和折射光束，所述折射光束经所述石英管的内部反射并穿过所述石英管外壁形成第二反射光束，所述第一反射光束和第二反射光束相互平行；其中，0°＜α＜90°。所述第一反射光束和第二反射光束经过所述扩束光学系统进行扩束处理后，入射到所述线阵CCD；所述计算处理系统与所述线阵CCD连接，用于根据线阵CCD输出的光强信号，计算所述入射到所述线阵CCD上的所述第一反射光束和第二反射光束的距离，并根据该距离计算所述石英管的管壁厚度。