一种氯化物体系线路版蚀刻液在线提取铜和蚀刻液回用的装置

摘要

一种氯化物体系线路版蚀刻液在线提取铜和蚀刻液回用的装置，由至少两级敝口式电解槽单元连接组成，其中所述各级电解槽单元分别分隔成面积可调整的阳极区和阴极区，且所述各级电解槽单元采用钛基涂覆贵金属氧化物的电极材料作为阳级，各前级电解槽单元采用钛的三维电极材料作为阴极，各后级电解槽单元采用钛板或铜板的二维电极材料作为阴极，采用单一的直流电源作为各级电解槽单元的供电电源。本实用新型旨在提供一种可在环境温度下正常进行、法拉弟电流效率高，在获得高纯度铜的同时，又能使经过处理后的氯化物体系线路版蚀刻液回用且没有有毒氯气的产生的敞口式装置。

主权项

一种氯化物体系线路版蚀刻液在线提取铜和蚀刻液回用的装置，其特征在于由至少两级敝口式电解槽单元连接组成，其中所述各级电解槽单元分别由可移动的阴离子膜或具有微渗透性能的隔膜材料将该电解槽单元分隔成面积可调整的阳极区和阴极区，且所述各级电解槽单元采用钛基涂覆贵金属氧化物的电极材料作为阳级，各前级电解槽单元采用钛的三维电极材料作为阴极，各后级电解槽单元采用钛板或铜板的二维电极材料作为阴极，采用单一的直流电源作为各级电解槽单元的供电电源。