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经营范围
发明名称
Thin film production process
摘要
申请公布号
EP1134303(B1)
申请公布日期
2010.06.09
申请号
EP20010106040
申请日期
2001.03.12
申请人
CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人
ANDO, KENJI;OTANI, MINORU;SUZUKI, YASUYUKI;SHINGU, TOSHIAKI;BIRO, RYUJI;KANAZAWA, HIDEHIRO
分类号
C23C14/06;C23C14/00
主分类号
C23C14/06
代理机构
代理人
主权项
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