发明名称 Thin film production process
摘要
申请公布号 EP1134303(B1) 申请公布日期 2010.06.09
申请号 EP20010106040 申请日期 2001.03.12
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 ANDO, KENJI;OTANI, MINORU;SUZUKI, YASUYUKI;SHINGU, TOSHIAKI;BIRO, RYUJI;KANAZAWA, HIDEHIRO
分类号 C23C14/06;C23C14/00 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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