边缘接触夹持式晶圆末端执行器

摘要

本发明提供了一种边缘接触夹持式晶圆末端执行器，涉及化学机械抛光设备技术领域。具有晶圆片座，晶圆片座内至少设有2个伸缩式边缘接触夹持指钩，边缘接触夹持式指钩和伸缩装置相连；晶圆片座上至少设有第3个边缘接触夹持触点。本发明很好解决了现有技术中长期存在且一直未解决的问题，采用边缘接触方式夹持晶圆，可快速、精确、安全、无污染地夹持晶圆，结构简单，使用方便、安全，降低成本，还具有自动确定晶圆圆心可广泛用于晶圆的化学机械抛光(CMP)、研磨、减薄等处理。

主权项

一种边缘接触夹持式晶圆末端执行器，其特征在于具有晶圆片座(2)，晶圆片座(2)内至少设有2个伸缩式边缘接触夹持指钩(1)，边缘接触夹持式指钩(1)和伸缩装置相连；晶圆片座(2)上至少设有第3个边缘接触夹持触点。