利用幕式淋涂制造多层陶瓷元件的方法和装置

摘要

本发明涉及利用幕式淋涂制造多层陶瓷元件的方法，包括：第一步骤，使包含陶瓷电介质材料和溶剂的浆液循环、并形成预定流量的垂直流下的连续淋幕；第二步骤，使基板以预定的输送速度沿水平方向穿过淋幕，涂布形成电介质层；第三步骤，烘干电介质层；第四步骤，在已烘干的电介质层上形成内部电极；第五步骤，烘干内部电极；第六步骤，反复进行第二至第五步骤，形成预定层数的陶瓷层叠体；第七步骤，切割陶瓷层叠体形成切块；第八步骤，将切块从基板分离，并进行倒角处理；第九步骤，烧结；第十步骤，在陶瓷烧结体形成外部电极。本发明还涉及幕式淋涂装置。利用本发明提供的方法和装置可制成高可靠性的多层陶瓷元件。

主权项

利用幕式淋涂制造多层陶瓷元件的方法，其特征是包括以下步骤：第一步骤，使包含陶瓷电介质材料和溶剂的浆液循环、并形成预定流量的垂直流下的连续淋幕；第二步骤，使基板以预定的输送速度沿水平方向穿过淋幕，涂布形成电介质层；第三步骤，烘干电介质层；第四步骤，在已烘干的电介质层上形成内部电极；第五步骤，烘干内部电极；第六步骤，反复进行第二至第五步骤，形成预定层数的陶瓷层叠体；第七步骤，切割陶瓷层叠体，形成切块；第八步骤，将切块从基板分离；第九步骤，将陶瓷层叠体切块进行烧结，制成陶瓷烧结体；第十步骤，在陶瓷烧结体形成外部电极；所述第一步骤包括使包含陶瓷电介质材料和溶剂的浆液循环、并形成预定流量的垂直流下的连续淋幕；以及连续检测循环浆液的粘度，根据浆液粘度的变化值，向浆液补给溶剂以使浆液粘度保持在预定值。