再分布金属层及再分布凸点的制作方法

摘要

一种再分布金属层的制作方法，包括：提供表面具有钝化层的晶片，钝化层具有第一开口，焊盘位于第一开口内，所述钝化层及焊盘上形成有带露出焊盘的第二开口的第一绝缘层；在第一绝缘层上及第二开口内形成再分布金属层；在再分布金属层表面形成第二绝缘层；在第二绝缘层上形成与第二开口错开分布的第三开口，曝露出再分布金属层；通入不与再分布金属层反应的气体，去除第三开口内的第二绝缘层残渣。本发明还提供一种再分布凸点的制作方法。本发明通入不与再分布金属层反应的气体，去除第三开口内的第二绝缘层残渣。使再分布金属层不被气体腐蚀，保持完整，使后续制作的凸点的电性能及可靠性提高。

主权项

一种再分布金属层的制作方法，其特征在于，包括：提供表面具有钝化层的晶片，钝化层具有第一开口，焊盘位于第一开口内，所述钝化层及焊盘上形成有带露出焊盘的第二开口的第一绝缘层；在第一绝缘层上及第二开口内形成再分布金属层；在再分布金属层表面形成第二绝缘层；在第二绝缘层上形成与第二开口错开分布的第三开口，曝露出再分布金属层；通入氧气、四氟化碳和氢气组合或氧气、四氟化碳、氢气和氮气组合，去除第三开口内的第二绝缘层残渣，所述气体不与再分布金属层反应。