用于多晶硅铸锭工艺的石墨加热器

摘要

一种用于多晶硅铸锭工艺的石墨加热器，有四块辐射式加热板，每块辐射式加热板由3a(a＝1，2，3)个“n”形块于底部邻接组成，四块辐射式加热板立置并围成一个正方形，其四个角下部用角接器将相邻两块加热板连接起来且采用碳碳复合螺栓、螺母紧固；将围成所述正方形的四块辐射式加热板的共12a个“n”形块平均分成六组，于每组“n”形块的顶部安装一个直立的石墨电极且所装石墨电极在围成正方形的四块辐射式加热板上均匀分布，每个石墨电极上部分别接有水冷铜电极，将各水冷铜电极按双三角形接线方式连接。该加热器能满足辐射面积大、加热效率高、基本性能稳定等要求并获得所需高温，工作可靠性好。

主权项

一种用于多晶硅铸锭工艺的石墨加热器，有四块辐射式加热板(1、2、21、22)，每块辐射式加热板由3a(a＝1，2，3)个“n”形块于底部邻接组成，其特征是，将所述四块辐射式加热板(1、2、21、22)立置并围成一个正方形，在其四个角的下部分别用角接器(3)将相邻两块辐射式加热板连接起来且所述角接器与相应辐射式加热板之间用碳碳复合螺栓(6)、碳碳复合螺母(8)紧固；将围成所述正方形的四块辐射式加热板(1、2、21、22)的共12a个“n”形块平均分成六组，于每组“n”形块的顶部安装一个直立的石墨电极(4)且所装石墨电极(4)在围成正方形的四块辐射式加热板(1、2、21、22)上均匀分布，每个石墨电极(4)上部分别接有水冷铜电极(9)，将各水冷铜电极(9)按双三角形接线方式连接。