基板交换装置和基板处理装置以及基板检查装置

摘要

本发明涉及基板交换装置和基板处理装置以及基板检查装置，该基板交换装置将从第一搬送部接收的第一基板交付至第二搬送部，并将从上述第二搬送部接收的第二基板交付至上述第一搬送部，其中，该基板交换装置具备：上述第二搬送部，其能够在与上述第一基板和上述第二基板的层叠方向正交的方向上进退；支撑部件，其能够在上述基板的层叠方向上相对于上述第二搬送部进行相对移动；第一保持部，其设置于上述支撑部件上，能够保持上述第一基板或上述第二基板中的一方；第二保持部，其在上述支撑部件中从上述第一保持部离开预定距离而设置在上述基板的层叠方向上，能够保持上述第一基板或上述第二基板中的另一方，在将上述第一保持部和上述第二保持部中的一方用于从上述第一搬送部接收上述第一基板时，使上述支撑部件和上述第二搬送部进行相对移动，以将上述第一保持部和上述第二保持部中的另一方用于接收由上述第一搬送部搬送的上述第二基板。

主权项

一种基板交换装置，该基板交换装置将从第一搬送部接收的第一基板交付至第二搬送部，并将从上述第二搬送部接收的第二基板交付至上述第一搬送部，其特征在于，所述基板交换装置具备：上述第二搬送部，其能够在与上述第一基板和上述第二基板的层叠方向正交的方向上进退；支撑部件，其能够在上述基板的层叠方向上相对于上述第二搬送部进行相对移动；第一保持部，其设置于上述支撑部件上，能够保持上述第一基板或上述第二基板中的一方；以及第二保持部，其在上述支撑部件中从上述第一保持部离开预定距离而设置在上述基板的层叠方向上，能够保持上述第一基板或上述第二基板中的另一方，在将上述第一保持部和上述第二保持部中的一方用于从上述第一搬送部接收上述第一基板时，使上述支撑部件和上述第二搬送部相对地移动，以将上述第一保持部和上述第二保持部中的另一方用于接收由上述第一搬送部搬送的上述第二基板。