能引出高束流金属离子的冷阴极潘宁离子源

摘要

本发明公开了一种能引出高束流金属离子的冷阴极潘宁离子源，该潘宁离子源的上阴极是一圆柱体，下阴极是一个带有圆孔的圆片，其制造材料是与引出金属离子同种的金属材料。这不仅可使离子源引出高熔点金属离子，还可以引出高束流的金属离子。这种改进的离子源的最大特点是结构简单，操作方便。

主权项

一种能引出高束流金属离子的冷阴极潘宁离子源，其特征在于，该潘宁离子源包括：一圆桶形水套(11)，其同一侧面具有一进水口(131)和一出水口(132)，进水口(131)和出水口(132)均与圆桶形水套(11)内的空间相通，空间中充满水，用于冷却；一永久磁铁圆柱体(12)，置于圆桶形水套(11)内并与圆桶形水套(11)同轴；一软铁圆柱体(13)，置于圆桶形水套(11)内永久磁铁(12)的前端，与永久磁铁圆柱体(12)紧邻，且与圆桶形水套(11)同轴；一上阴极(14)，该上阴极为圆柱体，置于圆桶形水套(11)的外端，与圆桶形水套(11)焊接；一阳极(21)，该阳极(21)的形状如短圆管，置于水套(11)的外端，与圆柱体上阴极(14)有一预定距离，且与圆桶形水套同轴；一下阴极(31)，置于圆柱体状上阴极(14)的对面，与圆柱体状上阴极(14)有一预定距离，且与圆桶形水套(11)同轴；以及一引出电极(33)，该引出电极(33)形如圆形漏斗，与下阴极(31)同轴，置于下阴极(31)的另一端，并与下阴极(31)有一预定距离。