液处理装置和液处理方法

摘要

本发明提供液处理装置和液处理方法，用干燥抑制溶剂将不使用的涂敷液喷嘴前端部密封，能够简单地将用于防止长时间干燥的处理调整为最佳状态，在根据吸引溶剂层的量设定的长时间内，可以不进行虚拟分液。本发明的液处理装置(方法)用于进行液处理，在该液处理中，从涂敷液喷嘴向由基板保持部大致水平地保持的基板的表面供给涂敷液，并向上述基板的表面喷出，形成涂敷膜，设有摄像涂敷液喷嘴(10)前端部的单元，预先利用插入显示摄像图像的画面中的软尺(121a)设定用于进行防止长时间干燥的处理时的涂敷液的位置和干燥抑制溶剂的位置，从而不依赖于目测而基于设定值进行分液控制，进行上述涂敷液喷嘴的前端部内的涂敷液的干燥抑制的调整。

主权项

一种液处理装置，其用于进行液处理，在该液处理中，从涂敷液喷嘴向由基板保持部大致水平地保持的基板的表面供给涂敷液，并向所述基板的表面喷出而形成涂敷膜，该液处理装置的特征在于，包括：用于搬送能够在由所述基板保持部保持的基板的上方移动的所述涂敷液喷嘴的喷嘴搬送机构；用于使所述涂敷液喷嘴在待机位置待机的喷嘴槽；分液控制部，其用于在所述喷嘴槽中，对来自所述涂敷液喷嘴的涂敷液的喷出动作，或者涂敷液、该涂敷液的干燥抑制溶剂的吸引动作和干燥抑制溶剂的排出动作进行分液控制；用于控制所述分液控制部的控制部；判定处理部，其设置于所述控制部，用于分析判断由对所述涂敷液喷嘴进行摄像的摄像单元所摄像的喷嘴图像数据；操作显示部，其用于进行被摄像的所述涂敷液喷嘴的喷嘴图像数据的显示、以及设定值的输入；和软尺，其具有能够在所述操作显示部中与由所述摄像单元得到的所述涂敷液喷嘴图像的垂直方向的长度重合地进行固定显示的刻度值，其中，所述判定处理部对用所述软尺的刻度值设定的设定值与利用所述控制部对动作中的涂敷液喷嘴的状态进行摄像得到的在所述涂敷液喷嘴内的涂敷液和干燥抑制溶剂各自的吸引位置进行比较来进行判定处理，所述控制部基于所述判定处理控制所述分液控制部，进行所述涂敷液喷嘴的前端部内的涂敷液的干燥抑制的调整，其中，该用所述软尺的刻度值设定的设定值使得所述操作显示部中所述涂敷液喷嘴内的涂敷液和干燥抑制溶剂成为最佳位置。